高純氬在半導體工業(yè)中用作生產(chǎn)高純硅和鍺晶體的保護氣體；

可用作系統(tǒng)清洗、屏蔽和增壓用的惰性氣體；在化學氣相沉積、濺射和退火等工藝中有所應用。

高純氬也可作為色譜載氣。氬被廣泛用來充填弧光燈、熒光燈和電子管；焊接保護氣；在鈦、鈷和其他活性金屬的生產(chǎn)中用作屏蔽氣；

在黑色冶金中用于吹煉特種鋼。 在金屬冶煉方面，氧、氬吹煉是生產(chǎn)優(yōu)質鋼的重要措施，每煉1t鋼的氬氣消耗量為1～3m3。此外，對鈦、鋯、鍺等特殊金屬的冶煉，以及電子工業(yè)中也需要用氬作保護氣。